Il y a quelques semaines, dans notre article sur le MEB de table « Le MEB à la portée de tous les laboratoires« , vous avez pu découvrir le populaire MEB de table Thermo Scientific Phenom et les capacités technologiques que ces appareils offrent aujourd’hui.
En retour, nous avons reçu un grand nombre de questions concernant les capacités du module EDS (spectroscopie à rayons X à dispersion d’énergie) qui offre un complément analytique aux capacités d’imagerie du MEB. Il s’agit souvent principalement de la résolution, de la quantification, de la séparation des pics et des capacités logicielles pour le balayage de surface et le balayage linéaire, entre autres.
Dans cet article, nous examinons de plus près les possibilités offertes par le MEB de table lorsque nous commençons à combiner l’analyse d’images MEB avec l’analyse chimique via EDS.
Élargir les applications MEB avec EDS
L’EDS fournit des informations sur la composition des matériaux en analysant les rayons X caractéristiques générés par l’interaction de l’échantillon avec le faisceau d’électrons. La haute luminosité des sources CeB6 et FEG des MEB Thermo Phenom, combinée à la géométrie du détecteur, offre l’avantage d’un taux de comptage élevé (nombre d’événements de rayons X détectés par seconde) sans compromettre la résolution. L’EDS est une technique largement utilisée en microscopie électronique car elle est rapide, précise, non destructive et donne des informations locales dans un microvolume de l’échantillon.
Intégration complète des logiciels et du matériel
Le détecteur EDS est entièrement intégré au microscope, ce qui signifie que le matériel et le logiciel sont entièrement coordonnés dans la même interface utilisateur. Les réglages du détecteur sont automatiquement optimisés pour la configuration du faisceau d’électrons choisie, ce qui évite les désalignements accidentels. Des différences dans les compositions mesurées peuvent parfois se produire en raison d’un changement de la tension d’accélération choisie par l’opérateur. L’application Phenom Element Identification, qui permet de réaliser des analyses EDS, accepte toutes les tensions d’accélération et ajuste automatiquement les paramètres et les corrections nécessaires.
Combiner vitesse et quantification
L’analyse est également semi-quantitative, les éléments et leurs concentrations sont calculés à partir du signal EDS. L’application Thermo Scientific Phenom EDS est conçue pour faire tout cela automatiquement, il n’est donc pas nécessaire d’ajuster les paramètres lors d’un changement d’échantillon.
Le logiciel corrige également les artefacts inhérents présents dans tout détecteur EDS, ce qui est l’un des avantages de travailler avec une solution EDS totalement intégrée autour du MEB de table.
Résultats rapides, même sur les grandes surfaces
La cartographie analytique par rayons X permet à l’opérateur de comprendre comment la composition varie sur une plus grande surface d’échantillon. En utilisant l’option cartographie EDS rapide via l’application Phenom Element Identification, un affichage en couleur de chaque élément détecté est accessible pour les zones plus grandes. Cette fonction permet d’afficher les premiers résultats en quelques secondes, puis d’affiner et de développer l’image au fil du temps pour obtenir un résultat final fiable.
L’option de balayage linéaire permet également d’analyser les sections transversales d’une ou plusieurs surfaces qui se chevauchent. Cette fonction permet de présenter une évolution de la concentration des éléments détectés le long de la ligne tracée par l’opérateur.
Téléchargez la présentation complète de l’EDS dans le MEB de table ici.
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