Depuis le développement des premiers MEB de table Phenom au cours de la période 2006-2007, la technologie a connu une évolution considérable. Il y a environ deux ans, Thermo Scientific, l’actuel propriétaire de la gamme de ssytèmes Phenom, a lancé la sixième génération d’instruments Phenom ProX G6.
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La démocratisation de la technologie SEM
Avec l’essor de la technologie MEB de table, la microscopie électronique est devenue une technique d’analyse d’image et d’analyse accessible à des milliers de laboratoires dans le monde entier. Cette percée spectaculaire est due non seulement au budget d’investissement abordable et au faible coût de maintenance, mais surtout à la conception « de paillasse » (c’est-à-dire le besoin limité d’infrastructures spécialisées en termes d’espace de laboratoire, de réduction des vibrations, de contrôle de la température et de la pression ambiantes…) et à l’interface utilisateur intuitive (qui permet à un grand nombre d’opérateurs non spécialisés d’utiliser la technologie). « La démocratisation de la technologie MEB », comme l’a dit un orateur lors d’un récent congrès.
L’intégration de la technologie MEB-FEG dans un MEB de table a constitué une nouvelle étape dans le développement des MEB de table. Le MEB-FEG (Microscope Electronique à Balayage – Field Emission Gun) offre la plus haute résolution d’imagerie par rapport au MEB plus couramment utilisés (Tungstène). Il garantit une grande luminosité, des images extrêmement nettes et une intensité de faisceau stable.
En général, les MEB-FEG sont des systèmes dits conventionnels : ils nécessitent une grande surface d’installation au sol, mais cette même technologie haute résolution est désormais disponible dans une version de “paillasse” grâce au Phenom Pharos Thermo Scientific.
Très haute résolution
Alumina coating
La source FEG offre la résolution la plus élevée, avec une haute luminosité, des images nettes et une intensité de faisceau stable. Le Phenom Pharos G2 offre une résolution ≤2nm (@20kV SE). Cela permet de voir la forme des nanoparticules, les imperfections des revêtements et d’autres caractéristiques qui échapperaient à d’autres MEB, y compris ceux dotés d’une source traditionnelle au tungstène.
Désormais dans un instrument de table
Les MEB à émission de champ sont généralement des systèmes de grandes dimensions qui nécessitent une salle spécifique dotée d’une infrastructure et de connexions spéciales. Ils sont souvent difficiles à utiliser et nécessitent des utilisateurs hautement qualifiés. C’est pourquoi les travaux de MEB-FEG sont souvent confiés à des laboratoires de service ou à des installations centrales.
Cependant, disposer d’un MEB-FEG en interne est désormais une option beaucoup plus envisageable. Le MEB-FEG de table Phenom Pharos G2 est le seul MEB de table équipé d’une source FEG. Il est facile à installer et à utiliser, et vous n’avez donc plus besoin de faire appel à des services externes.